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热处理装置以及热处理方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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热处理装置以及热处理方法.pdf

    本发明提供一种热处理装置以及热处理方法，不会使生产性下降而确保腔室内的洁净度，提高工件的品质。实施方式的热处理装置(1)具有：腔室(10)，可维持比大气压减压的环境；排气部(40)，连接于腔室(10)，对腔室(10)内进行排气；支撑部(30)，支撑被收容在腔室(10)内的工件(W)；加热部(50)，进行在工件(W)被支撑于支撑部(30)的状态下对工件(W)进行加热的第一加热，且进行在工件(W)未被支撑于支撑部(30)的状态下以比第一加热快的升温速度对腔室(10)内进行加热的第二加热；以及供气部(

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116618260 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310051976.0 B05D 3/04 (2006.01) (22)申请日 2023.02.0

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