原创力文档- 3
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- 2023-08-23 发布于四川
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提供能够及早检测导电性粉体的熔融物的附着的喷镀装置、熔融附着物的检测方法及在附着了熔融物的情况下也能够缩短喷镀装置的维修时间的喷镀装置用电极。喷镀装置具备第一电极和第二电极，通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的等离子体喷镀导电性粉体，从而在目标上进行成膜，所述第二电极具有：电极主体；及能够相对于电极主体装卸的枪口部，该枪口部设置有第二空洞，来自所述第一电极的导电性粉体通过所述第二空洞，所述枪口部具有：绝缘性部件；及通过所述绝缘性部件而彼此绝缘的多个导电性部件，该喷镀装置具备根据所述多个导电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116623120 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310131151.X
(22)申请日 2023.02.17
(30)优先权数据
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