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微电子制造原理与技术第二部分 芯片制造原理与技术李 明材料科学与工程学院?芯片发展历程与莫尔定律?晶体管结构与作用?芯片微纳制造技术
主要内容l 半导体基础知识l MOSFET晶体管结构和工作原理l 晶体管应用举例
导体、半导体、绝缘体单元素半导体：Si、Ge、Sn等，外壳电子数为4的C族元素化合物半导体：GaAs、GaP、InAs、ZnSe等，一般由B和N族组成的化合物。氧化物半导体：ZnO、MnO 、MnO、Cr O 、223NiO、TiO 、Cu O、SnO 等222电阻率的影响因素：杂质、温度、光、结构缺陷导体（金属）半导体绝缘体大理石玻璃橡胶铜铁硅锗电阻率
本征半导体本征半导体：纯净
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