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本实用新型涉及半导体炉体技术领域，公开了一种半导体设备的炉体排气装置，包括炉体，炉体的顶部连通有排气管，排气管的外侧安装有冷却管，炉体的一侧固定连接有降温箱，排气管和冷却管均固定贯穿降温箱置于降温箱内腔，降温箱内侧的排气管等距连通有多个相同的出气管，冷却管的底部连通有连接管。本实用新型通过排气管和出气管将炉体的高温气体排入降温箱内，然后启动循环泵使降温箱内的冷却水喷出对高温气体进行降温，同时通过三通和连接管使冷却管和排气管之间的冷却水进行循环，进而对高温的排气管进行降温，解决泄气管排出的高温气体
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219572709 U
(45)授权公告日 2023.08.22
(21)申请号 202320530959.0
(22)申请日 2023.03.18
(73)专利权人 启程（天津）科技有限公司
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