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镀膜技术十个主要问题及答案 问题： 一、镀膜技术可区分为那几类？ 可区分为：（1）真空蒸镀（2）电镀（3）化学反应（4）热处理（5）物理或机械处理二、常用的真空泵浦有那几种?适用的抽气范围为何？ 真空泵浦可分： （1）机械帮浦（2）扩散泵浦（3）涡轮泵浦（4）吸附泵浦（5）吸着泵浦真空泵浦抽气范围： 泵浦抽气范围机械泵浦10-1-10-4毫巴扩散泵浦10-3?10-6毫巴涡轮泵浦10-3?10-9毫巴吸附泵浦10-3?10-4毫巴吸着泵浦10-4?10-10毫巴三、电浆技术在外表技术上的应用有那些？ 1）溅浆沉积：溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材，使外表分子溅离并射到基材镀成一层薄膜，溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气，质量适当而且没有化学反应。 （2）电浆辅助化沉积：气相化学沉积的化学反应是在高温基材上进行，如此才能使气体前置物获得足够的能量反应。 （3）电浆聚合：聚合物或塑料薄膜最简单的披覆技术就是将其溶剂中，然后涂布于基板上。电浆聚合涂布法系将分子单体激发成电浆，经化学反应后形成一致密的聚合体并披覆在基板上，由于基材受到电浆的撞击，其附着性也很强。 电浆蚀刻：湿式碱性蚀刻，这是最简单而且廉价的方法，它的缺点是碱性蚀刻具晶面方向性，而且会产生下蚀的问题。 电浆喷覆：在高温下运转的金属组件须要有陶瓷物披覆，以防止高温腐蚀的发生。 四、蒸镀的加热方式包括那几种?