硅和硅片制备全解课件.pptVIP

;4.1 引 言;本 章 要 点;4.2 半导体级硅; 上面简单介绍的生产半导体级硅(SGS)的工艺称为西门子工艺。 半导体级硅具有半导体制造要求的超高纯度，它包含少于百万分之（ppm）二的碳元素和少于十亿分之(ppb)一的Ⅲ、Ⅴ族元素（主要的掺杂元素）。然而用以上工艺生产的硅，未必是我们所希望的按照某种序列排列硅原子的晶体。下面我们将讨论晶体结构以了解半导体级硅正确的原子排列。;4.3 晶体结构;;;;;;;Z;4.5 单晶硅的生长;;;Photo 4.2 CZ 拉单晶炉; CZ法的特点是工艺成熟，能较好地拉制低位错、大直径的硅单晶。缺点是难以避免来自石英坩埚和加热装置的