一种超净高纯电子级氢氟酸提纯装置及方法.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种超净高纯电子级氢氟酸提纯装置及方法.pdf

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本发明涉及氢氟酸提纯技术领域，公开了一种超净高纯电子级氢氟酸提纯装置包括蒸馏罐体，所述蒸馏罐体的上端固定连接有顶盖，所述蒸馏罐体的底部外侧一周设置有蒸汽螺旋加热通道，所述蒸汽螺旋加热通道内设置有螺旋蒸汽管，所述螺旋蒸汽管的一端连接有蒸汽进入管，所述螺旋蒸汽管的另一端连接有蒸汽排出管。本发明所述的一种超净高纯电子级氢氟酸提纯装置及方法，启动抽液泵，让抽吸管不断抽吸集液槽内的氢氟酸液体，通过L型出液管输送，从斜喷头向离心混合腔内持续注入氢氟酸液体，从而实现氢氟酸液体的回液，并且离心混合腔远离蒸馏腔底

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116639659 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310741102.8 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人江西福丰新材料科技有限公司地址