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本发明涉及一种用于线性放大光压驱动位移的反射镜及制备方法，该反射镜包括激光照射区，激光照射区设置在反射镜的中心位置；夹持区，夹持区设置在反射镜的外圈；多个弹性支撑臂设置在激光照射区和夹持区之间，弹性支撑臂对激光照射区域起到弹性支撑，减小了光压作用方向上的刚度，用于放大激光照射区的光压驱动位移，多个弹性支撑臂的设置增加了重力作用方向上的刚度，保证反射镜光压驱动位移响应的线性度，解决了实际使用中反射镜性能下降的问题。本发明的反射镜具有光能到机械能转化效率高、位移响应线性度好、小型化和低成本的优势，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116643370 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310581723.4
(22)申请日 2023.05.23
(71)申请人 天津大学
地址 300110
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