一种硅基扇出型晶圆级封装结构.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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本实用新型公开一种硅基扇出型晶圆级封装结构,属于集成电路封装领域。所述硅基扇出型晶圆级封装结构包括硅基,其第一面刻蚀有散热通道,散热通道上沉积有截止层;所述硅基的第二面刻蚀有凹槽并埋入芯片;所述芯片的焊盘通过第一层布线和微凸点与n层布线连接;所述n层布线连接有最后一层布线,所述最后一层布线上制作有阻焊层和凸点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210224007 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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