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- 2023-08-26 发布于四川
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用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，炉体内设有镀膜炉腔，镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，本实用新型的公转盘转动机构通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现AR固定架组件公转，而自转齿轮机构通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合，实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜，并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的；由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制，能够使其选择性均匀地镀膜，实现在同一炉批次内自动翻面，避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能，有效节省时间和电能，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210215535 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
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