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本实用新型公开了一种全自动快速搬运机械手装置，属于半导体制造领域。该装置包括支撑架和壳体。支撑架上设置有水平轨道，壳体上设置有固定块；壳体上设置有第一动力装置、第一传动装置，水平轨道上设置有第二传动装置；第一动力装置、第一传动装置与第二传动装置使壳体沿着支撑架的水平轨道平移；壳体内设置有主杆，主杆的两端分别连接第二动力装置和机械手驱动机构，机械手驱动机构与机械手连接；壳体内设置有上限位感应器和下限位感应器，壳体外部左右两侧分别设置有左限位感应器和右限位感应器；动力装置和限位感应器连接PLC控制器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210233012 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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