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一种外延炉取片手装载监控系统.pdfVIP

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  • 2023-08-28 发布于四川
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一种外延炉取片手装载监控系统.pdf

    本实用新型公开了一种外延炉取片手装载监控系统，包括预抽真空室、传送腔、装载设备、检测模块和传送带，预抽真空室两侧设有传送腔，装载设备通过安装底板安装于传送腔内部，预抽真空室内部间隔设有若干硅片，传送带设置于传送腔内部且传送带平行设置于装载设备一侧，传送带表面设有若干放置盒，装载设备包括驱动装置，驱动装置活动连接机械臂，机械臂顶端连接取片手，检测模块包括第一摄像头、第二摄像头、角度检测器、长度传感器、重力传感器和质量检测装置，通过检测模块内的相关结构设置，对机械臂实现多角度监测，完善了现有单一的取

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210245461 U (45)授权公告日 2020.04.03 (21)申请号 20192

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