231B-02(氦质谱检漏仪说明书).docx

SFJ-231 氦质谱检漏仪 PRODUCT USAGE MANUAL 产品使用 说明书 说明 说明 说 明 此说明书之内容，修改时将不经通告。 本说明书版权归安徽皖仪科技股份有限公司所有，未经本企业的事先书面许可， 此说明书之部分或全部均不准复印、翻印或译成它种语言。 本企业对此说明书中所例材料用于其它目的的可营销性及适用性，不作任何保证，或者默许的保证。对因此引起的由于使用本材料造成的意外或导致的损坏，本企业将概不负责。 版本：V2.0 / 2014.4 SFJ-231 氦质谱检漏仪 目录 目录 目录 1 前言 .. - 1 - 1.1 图标约定 .. - 1 - 2 概述 .. - 2 - 3 仪器性能指标 .. - 3 - 3.1 使用环境 .. - 3 - 3.2 性能参数 .. - 4 - 4 仪器简介 .. - 5 - 4.1 仪器气路系统 .. - 5 - 4.2 仪器电子系统 .. - 6 - 4.3 系统工作流程 .. - 7 - 4.4 仪器面板 .. - 9 - 4.5 仪器外部接口 .. - 9 - 5 仪器操作 .. - 13 - 5.1 基本操作说明 .. - 13 - 5.2 检漏（喷吹法） .. - 31 - 5.3 其他检漏方法操作 .. - 36 - 6 维护 .. - 37 - 6.1 漏率校准 .. - 37 - 6.2 机械泵保养 .. - 37 - 6.3 分子泵维护 .. - 37 - 6.4 质谱管及离子源清洗 .. - 38 - 7 常见故障和处理 .. - 39 - 8 附录 .. - 42 - 8.1 通讯协议 .. - 42 - 8.2 仪器外形尺寸 .. - 47 - 9 售后服务 .. - 48 - i 前言 前言 前言 本手册对“SFJ-231氦质谱检漏仪”对应子机在到用户现场后进行的安装、使用、维护和故障排除等方面进行了介绍。 本手册的目标读者为需要对“SFJ-231氦质谱检漏仪”或对应子机执行安装、使用、维护等针对本仪器的操作人员，本公司员工以外的客户方或第三方操作人员尤其需要仔细阅读本手册。 ＆ 本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 ?? 400 112 0066 ? 图标约定 符号 含义 月 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 ＠ 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导致故障。 ＆ 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 ＆ 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 ＆ 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》 - 1 - 概述 概述 氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天 汽车制冷 军事工业 分析仪器 发电厂 核工业 压力容器 精密机械加工 医疗仪器/仪表 真空炉、镀膜设备等装置或系统 高真空和超高真空的工程 半导体等行业 氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。 - 2 - 仪器性能指标 仪器性能指标 仪器性能指标 使用环境 表 1 使用环境 机 型 环 境 参 数 极 限 条 件 SFJ-231 环境温度（℃） 10～40 相对湿度 ＜80% 供电电压 单相，220V±10% ,50Hz 最大工作电流（A） 5A 月 注意 使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰。 仪器停机后要等待40分钟以上才可以移动，否则可能影响分子泵 ＠ 特别注意 在使用外部辅助真空系统时，请确保检漏仪处于待机状态后再进行辅助真空系统的抽空，否则可能会造成检漏仪机械泵返油。 - 3 - 仪器性能指标 性能参数 表2 仪器性能参数 机 型 性 能 参 数 参 数 值 SFJ-231 最小可检漏率（ Pa·m3/s ） 1.0E-12 可检气体 He4 响应时间（s） ≤1 启动时间（min） ≤5 漏率指示范围（Pa·m3/s） 1.0E-02～1.0E-13 检漏口允许最大压力（Pa） 1500 允许质谱管最大压力（Pa） 3×10-3 检大漏功能 基本型号不具备 无线手持器 选配 双灯丝切换功能 有 前级泵