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- 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210261990 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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