原创力文档- 2
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- 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型作为一种基于扫描探针显微镜的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210269909 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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