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- 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种调心装置,其特征在于,包括:两个测量装置,其一设置于单段式截断装置上;其二设置于多段式截断装置上,所述两个测量装置互相配合测量半导体晶棒轴线水平度;调心机构,设置于物料输送装置中的切割平台两端,用于承托切割平台并调节半导体晶棒于物料输送装置上的水平度。本实用新型在实际生产过程中操作简单且能够有效的对位于物料输送装置上半导体晶棒的水平度实施调节,从而提升后续晶棒段磨圆过程中的有效利用率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210256790 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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