第一代到第六代IGBT设计和制造技术的发展概况.pdfVIP

第一代到第六代 IGBT设计和制造技术的发展概况 ——愿本文能顺利地为未接触过半导体工艺技术的 IGBT 使用者提 供参考 (一)引言：据报道，IGBT 功率半导体器件自上世纪八十年代中 期问世后，受到应用者的热烈欢迎，大量使用在电力电子装置上， 使装置进入了一个突飞猛进阶段。IGBT 也越来越深入人心。 初期的 IGBT 存在了很多不足的地方，使应用受到了极大的限 制。其后人们针对其存在的不足，作了不断改进。行内习惯按改进 次序排列，现今 IGBT 已进入到第六代。可以这么说每一次改进都 有一个飞跃。 (二) 了解一下半导体