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一种全自动喷雾式制备薄膜的装置.pdfVIP

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  • 2023-08-29 发布于四川
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一种全自动喷雾式制备薄膜的装置.pdf

    本实用新型提供一种全自动喷雾式制备薄膜的装置，所述装置是利用全自动交替喷雾液相外延法在基底表面制备薄膜的装置，包括：供气系统，气体调节系统，压力容器，数控系统，雾化喷头，基底支撑架，外部箱体。所述装置可以根据需求对控制系统设置相应参数，能够准确、均匀地喷洒不同原料来覆盖基底，并可调控每种原料与基底接触反应时间，从而有效地制备形貌优异、取向一致的薄膜，特别是层层自组装薄膜材料，具有全自动、精度高、省人力等优点，尤其适合大面积、多层重复、成分复杂的金属‑有机框架(MOFs)薄膜制备。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210256927 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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