一种应用于半导体探针台的温度控制系统及方法.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种应用于半导体探针台的温度控制系统及方法.pdf

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一种应用于半导体探针台的温度控制系统及方法，涉及数据处理的领域。系统包括液氮罐、空气罐、半导体探针台、真空泵、测温组件以及控制器，半导体探针台包括样品台，样品台用于承载半导体样品；液氮罐与样品台通过输入管路连接，液氮用于对样品台进行降温，液氮罐的输出口设置有第一电磁阀；空气罐与样品台通过输入管路连接，空气罐的输出口设置有第二电磁阀；真空泵与样品台通过输出管路连接，真空泵用于抽取液氮至样品台内；测温组件包括接触式温度传感器和多个红外测温传感器，接触式温度传感器用于测量样品台的温度，多个红外测温传感

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116661523 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310663477.7 (22)申请日 2023.06.06 (71)申请人深圳市森美协尔科技有限公司地址