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用于离子植入机的气体有效利用率的监测方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-08-30 发布于四川
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用于离子植入机的气体有效利用率的监测方法及系统.pdf

    本发明公开了一种用于离子植入机的气体有效利用率的监测方法，包含以下步骤：计算单位气体消耗量，其中单位气体消耗量为钢瓶端气体流量与机台植入参数的函数；将单位气体消耗量与预定阈值进行比较；以及基于比较结果判断气体用量是否异常。该方法引入包含扫描次数、扫描速度和植入剂量在内的离子植入参数，结合钢瓶端气体流量大小建立气体量理论模型，能够实时监测用于离子植入机的气体的有效利用率。本发明同时提供一种用于执行该监测方法的系统。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115602513 A (43)申请公布日 2023.01.13 (21)申请号 202111082907.3 (22)申请日 2021.09.15 (71)申请人 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 地

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