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提供了一种冷却装置及其操作方法。冷却装置可以包括冷却器、冷却气体提供器和控制器。冷却器可以包括冷却块和温度传感器。冷却块可以被布置在对象的外部。温度传感器可以测量冷却块的温度。冷却气体提供器可以包括供应管线、控制阀和涡流管。供应管线可以连接至冷却块的一侧。控制阀可以被安装在供应管线处。涡流管可以连接至供应管线，以生成冷却气体。控制器可以根据由温度传感器测量的温度而对控制阀进行控制。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116659176 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202210945136.4 C23C 16/455 (2006.01)
(22)申请日 2022.08
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