一种平面阵列式静电成像传感器.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种平面阵列式静电成像传感器.pdf

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本发明公开了一种平面阵列式静电成像传感器，由正六边形感应电极阵列、绝缘薄板、静电屏蔽、传感器外壳、信号调理单元和数据采集单元组成，感应电极阵列采用蜂窝型排布，静电屏蔽采用一体式设计；待检测的目标电荷经过检测区域时，感应电极阵列产生感应电荷信号，信号调理单元包括测量、滤波和放大电路，将所述感应电荷信号调理为电压信号，数据采集单元将所述电压信号转换为数字信号传输给上位机进行成像。本发明的有益效果是：相较于传统的静电成像传感器感应电极阵列排布，本发明的排布方式使传感器的灵敏度分布更均匀，重建图像的空间

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116660357 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310511763.1 (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人中国民航大学地址 300300