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本发明提供即使施加了温度变化等的外部干扰也能够抑制解调精度降低的激光干涉仪。该激光干涉仪具备：激光光源，射出激光；光调制器，具备通过驱动信号进行驱动的振动元件，并使调制信号与激光重叠；受光元件，接收包含通过在对象物反射而重叠的采样信号的激光及包含调制信号的激光，并输出受光信号；运算部，根据基准信号对受光信号进行运算；以及信号生成部，输出驱动信号及基准信号，运算部具有：预处理部，根据基准信号输出包含频率调制成分的预处理信号；解调处理部，根据基准信号从预处理信号解调采样信号；以及校正处理部，根据与振
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116659644 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310167160.4
(22)申请日 2023.02.22
(30)优先权数据
2022-027697 202
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