一种电流变刀具、电流变对刀装置及电流变对刀方法.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种电流变刀具、电流变对刀装置及电流变对刀方法.pdf

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本发明涉及一种电流变刀具、电流变对刀装置及电流变对刀方法，电流变刀具包括沿Z轴向设置的非金属轴、设于所述非金属轴底部的电极盘、沿所述非金属轴对称设于所述电极盘底部两端并存在间隔的电极、设于所述电极底部的第一磁铁、以及设于两个所述电极间隙之间的电极阻隔片，所述电极阻隔片沿Z轴向的长度为不大于所述电极沿Z轴向的长度。电流变对刀装置包括电流变刀具及抛光液储液槽、第二磁铁、磁力计和止动片。电流变对刀方法为：通过调整第一磁铁与第二磁铁的间距，根据两者之间的磁场强度，确定硅片与电极间所需的抛光间隙。与现有技

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116652699 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310578477.7 (22)申请日 2023.05.22 (71)申请人同济大学地址 200092