原创力文档- 3
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- 2023-08-30 发布于四川
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本实用新型公开了一种常压微波等离子体化学气相沉积镀膜设备，包括微波等离子体发生装置、前置物注入装置和工件承托台，所述微波等离子体发生装置包括一放电石英管，放电石英管沿其轴向穿设于一电磁波发射器内，放电石英管入口端连接涡流注射器，涡流注射器另一端连接等离子体气源，放电石英管出口端设置有等离子体喷嘴，所述邻近等离子体喷嘴还设置一电弧产生器，所述前置物注入装置包括前置物气源和前置物喷嘴，所述前置物喷嘴与等离子体喷嘴相连接，且位于工件承托台上方。本实用新型的常压微波等离子体化学气相沉积镀膜设备可透过微波
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210261992 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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