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激光准直高精度直线度测量中激光漂移的补偿方法 1 激光准直的检测方法 准直技术是基于直线度、同源度、平行度和垂直度等几何测量参数和形状的误差的基础。在激光准直技术中,激光漂移是产生误差,限制激光准直精度的主要原因。按产生激光漂移的因素来分,存在三种不同的漂移:一种是由于激光器本身原因造成的激光光线漂移,分为平行漂移和角度漂移,简称“光漂”:由于激光器放电管内及其表面存在着不稳定的温度梯度分布,使谐振腔发生变形,造成激光光线漂移,以及由于固定激光发射器的调整机构存在机械位移;第二种是由于空气折射率不均匀造成的激光光线弯曲;第三种是由于空气扰动造成的激光光线随机漂移:在工作大气中的气流扰动造成光束随机抖动,从而使光束稳定性下降。 提高激光准直的精度主要从以上三个方面入手。目前,出现了很多实用的方法和技术来减少激光器本身造成的光线漂移和机械连接部分造成的漂移,但是由空气折射率不均及空气的随机扰动造成的激光光线漂移一直未能很好的解决。 2 合理设计谐振腔和激光管系统 抑制光漂可以从两方面入手。一是从激光器本身着手,如合理设计谐振腔,或使激光管通风散热,减少激光管内的温度梯度;二是采用适当的准直方法,减少光漂的影响,具体做法可分两大类: 2.1 光场分布监测方法是确定光束几何位置 2.1.1 激光束光漂的抑制机理 其基本思想是:采用特别设计的光学系统,将激光器发出的光束分成两束光,且当激光