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电子与物质的相互作用演示文稿 当前第1页\共有26页\编于星期六\8点 优选电子与物质的相互作用 当前第2页\共有26页\编于星期六\8点 电子束与固体样品作用时产生的信号 当前第3页\共有26页\编于星期六\8点 一. 二次电子 产生：入射电子束轰击出来并离开样品表面的 样品中的核外电子。 2. 特点：⑴ 能量较低（50eV）； ⑵ 一般在表层5~10nm深度范围内 发射出来，对样品表面形貌非常敏感。 (3)与原子序数无关，不能做成份分析 3. 作用：样品表面形貌分析。 当前第4页\共有26页\编于星期六\8点 二次电子成像原理 ①二次电子能量较低，只能从样品表面层5~10nm深度范围内激发出来； ②其数量和原子序数没有明显的关系，但对微区表面的形状十分敏感； ③样品上凸出的尖棱、小粒子以及比较陡的斜面处二次电子的产额较多，在荧光屏上亮度较大，平面上二次电子产额较小，亮度较低；在深的凹槽底部虽然也能产生较多的二次电子，但这些二次电子不易被检测器收集到，因此槽底较暗。 当前第5页\共有26页\编于星期六\8点 当前第6页\共有26页\编于星期六\8点 当前第7页\共有26页\编于星期六\8点 当前第8页\共有26页\编于星期六\8点 当前第9页\共有26页\编于星期六\8点 二. 背散射电子 产生：背散射电子是被固体样品中原子反弹回来的一部分 入射电子。 包括：弹性背散射电子——被样品中原子核反弹回来的入 射电子，能量基本没有损失，能量很高。 非弹性背散射电子——被样品中核外电子撞击后 产生非弹性散射的入射电子，方向和能量均发生改 变，经多次散射后仍能反弹出样品表面的入射电 子。 当前第10页\共有26页\编于星期六\8点 特点：背散射电子来自样品表层几百纳米(50～1000nm)的深度范围，其产额能随样品原子序数的增大而增多。 作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分 析。 当前第11页\共有26页\编于星期六\8点 背散射电子形貌衬度特点（与二次电子形貌像的区别） ⑴ 分辨率远比二次电子低； ⑵ 背散射电子的能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背散射电子而变成了一片阴影，图像衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。 当前第12页\共有26页\编于星期六\8点 ⑶而二次电子能量低，可利用检测器收集栅上加一定正电压来吸引能量较低的二次电子，使它们以弧形路线进入闪烁体，使背向检测器的部位逸出的电子也能对成像有贡献，使图像层次增加，细节清楚。 当前第13页\共有26页\编于星期六\8点 当前第14页\共有26页\编于星期六\8点 2. 背散射电子原子序数衬度原理 ⑴ 原子序数衬度：是利用对样品微区原子序数或化 学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的， 表示微区化学成分差别的像衬度。 对微区原子序数或化学成分的变化敏感信号： 背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子等。 当前第15页\共有26页\编于星期六\8点 ⑵ 背散射电子原子序数衬度原理 背散射电子的产额随样品原子序数的增大而增加，因而，样品上原子序数较高的区域，产生较强的信号，荧光屏上图像较亮，这样可以根据背散射电子像亮暗衬度来判断相应区域原子序数的相对高低，对金属及其合金进行化学成分的半定性分析。 当前第16页\共有26页\编于星期六\8点 背散射电子产额 当前第17页\共有26页\编于星期六\8点 两种图像的对比 锡铅镀层的表面图像（a）二次电子图像（b）背散射电子图像 当前第18页\共有26页\编于星期六\8点 两种图像的对比 铝钴镍合金二次电子照片 铝钴镍合金背散射电子照片 当前第19页\共有26页\编于星期六\8点