原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种蚀刻机，该种蚀刻机包括箱体、腔体、产品放置容器、真空抽取装置、氮气输送装置、二氟化氙输送装置和显示器，所述箱体前侧连接设置有腔体，腔体内放置有产品放置容器，产品放置容器底部连接有真空抽取装置，产品放置容器还连接有氮气输送装置和二氟化氙输送装置，箱体前端设有显示器，箱体内还设置有控制箱，显示器与控制箱电气连接。通过上述方式，本实用新型结构简单，能够对产品进行蚀刻处理，能够清除残留气体，保证管道内清洁，保证元器件不会受XeF2气体腐蚀；确保蚀刻的真空环境；能够均匀蚀刻产品。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210314490 U
(45)授权公告日
2020.04.14
(21)申请号 20192
文档评论（0）