四种微加速计传感器异同.pptxVIP

微加速度传感器当前第1页\共有17页\编于星期二\4点 目录1、微加速度计简介2、微加速度计分类3、基本工作原理及工作特点4、总结当前第2页\共有17页\编于星期二\4点 1.微加速度计简介MEMS技术的突出成果低成本，中低精度民用领域汽车碰撞检测，安全气囊军事领域战术武器当前第3页\共有17页\编于星期二\4点 2.微加速度计分类有无反馈信号：微型开环加速度计微型闭环加速度计敏感信号方式：压阻式 压电式 电容式隧道电流型热对流式加工方式：微机械表面加工微机械体加工结构形式：梳齿式 静电悬浮式“跷跷板”摆式“三明治”摆式敏感轴数量：单轴微机电式双轴微机电式三轴微机电式当前第4页\共有17页\编于星期二\4点 基本加速度计概念通常加速度计包含一个质量块(proof mass，or Seismic mass)，然后测量质量块在加速度作用下的位移、质量块作用在框架上的力或者维持质量块位置所需要的力(即主动加速度计，需要一个闭环控制系统)。测量作用在质量块上的力(F=ma)或引起的位移有多种方法，包括应变计、电容、表面波器件、光学方法(干涉计)和隧道方法等。实际上一个典型的基本型加速度计包含∶质量块、弹性件、阻尼元件和限位件。 F=ma=kxrel这里k是弹性常数、xrel是相对于框体的位移。3.基本工作原理及工作特点当前第5页\共有17页\编于星期二\4点 3.基本工作原理及工作特