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引晶功率的确定方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-09-06 发布于四川
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引晶功率的确定方法及装置.pdf

    本发明提出一种引晶功率的确定方法及装置，涉及单晶硅生产技术领域，方法包括：获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，其中，历史数据样本包括与引晶功率相关的工况特征向量，以及不同工况特征向量对应的引晶功率；基于工况特征向量与引晶功率之间的映射关系，构建单晶硅对应的引晶功率计算模型；将单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率，由此，基于单晶硅生产过程中的历史数据样本建立的引晶功率计算模型，实现单晶硅生产过程中的实时引晶功率的精准确定，避免人工不合理修正，提高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116695248 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310485620.8 G06F 16/28 (2019.01) (22)申请日 2023.04.

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