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一种半导体器件及其制造方法、电子设备，半导体器件包括：多个晶体管，分布于不同层沿着垂直衬底方向堆叠；字线，贯穿所述不同层沿着垂直衬底方向延伸；所述晶体管包括第一电极，栅极绝缘层，环绕所述字线侧壁的半导体层，设置在所述半导体层和所述栅极绝缘层的侧壁之间的保护层；第一电极设置在半导体层的第一凹槽内。本实施例提供的方案，第一电极设置在半导体层的第一凹槽内，在制造过程中可以使用易于刻蚀的膜层占据导电薄膜所在的膜层，使得刻蚀更易控制，且便于在不改变工艺的情况下，更换不同的导电薄膜作为第一电极，有利于器件的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116709776 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310986429.1
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 北京超弦存储器研究院
地址 10
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