CN114440768A-3D量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质.docVIP

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114440768 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210096437 .4 (22)申请日 2022.01 .26 (71)申请人 熵智科技（深圳）有限公司 地址 518034 广东省深圳市福田区华强北 街道福强社区振华路中电迪富大厦7 层703 (72)发明人 胡剑　华凯　王祥铜　赵青　 (51)Int.Cl . G01B 11/00 (2006 .01) (54)发明名称 3D量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及 存储介质 (57)摘要 本发明涉及线光谱共焦技术领域，公开了一 种