一种大分子沉积方法.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种大分子沉积方法.pdf

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本发明涉及材料制备领域，一种大分子沉积方法，泵组抽真空；将溶液通入；缓冲气体通入缓冲气体腔，通过出气口进入喷雾腔，最终从缓冲气出口排出；在外管和内管之间施加电压，使得溶液中的部分待沉积分子成为离子形式，并且溶液在电喷雾装置出口形成雾化的液滴，调节电压，调整电喷雾装置位置；部分电喷雾装置出口形成雾化的液滴依次通过出气口II、缓冲气体腔进入真空腔，液滴中剩下待沉积分子的离子、溶剂分子及杂质组成的离子束流；当离子束流通过分流器I时，溶剂分子由于与分流器I壁碰撞而受热并被蒸发从而偏离离子束流；杂质由于与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109046817 A (43)申请公布日 2018.12.21 (21)申请号 20181