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08.06.2018 08.06.2018 高精度纳米定位平台 具有极其准确的导向的高动态稳定型压电陶瓷扫描器 P-752 分辨率0.1纳米 快速响应 行程达35微米 电容式传感器带来最高线性度 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 应用领域 扫描显微镜 测量技术 测试程序和质量保证 光子 光纤定位 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 直接位置测量带来最大精度 运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这