一种硅片清洗机用在线加热器.pdfVIP

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  • 2023-09-09 发布于四川
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本发明涉及在线加热器技术领域,公开了一种硅片清洗机用在线加热器,包括PTFE铁氟龙桶身,所述PTFE铁氟龙桶身的左端设置有锁紧螺母,所述锁紧螺母的左侧设置有铁氟龙头,所述铁氟龙头的左侧连通有两个连通口,所述PTFE铁氟龙桶身的外壁上侧左右端均设置有安装带,所述安装带的一端固定连接有橡胶带。通过在PTFE铁氟龙桶身的左侧依次安装锁紧螺母和连通口,使连通口处形成循环对流,使在线加热器对流的口为循环设计,避免出现沉积,导致产生不易结晶的问题,并且通过滑块带动支腿滑动进行调节,移动至合适位置时,再通过锥

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116721942 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310663097.3 (22)申请日 2023.06.06 (71)申请人 深圳市元泰丰光电有限公司 地址

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