声表面波滤波器及组、多工器及射频模组.pdfVIP

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2023-09-09 发布于四川
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声表面波滤波器及组、多工器及射频模组.pdf

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本申请提供一种声表面波滤波器、滤波器组、多工器以及射频模组，其中声表面波滤波器包括：基板、晶圆、谐振器、晶圆焊盘、凸块以及密封件。基板顶面具有基板焊盘；晶圆包括支撑基板和压电薄膜，压电薄膜直接或间接设置在支撑基板上，晶圆具有第一表面、第二表面、以及垂直于第一表面并连接第一表面和第二表面的侧壁；晶圆的侧壁与第一表面之间具有凹轮廓，在沿着从第二表面向第一表面的方向上，凹轮廓与晶圆中心之间的距离逐渐减小；晶圆的第一表面有谐振器和晶圆焊盘，凸块将基板焊盘与晶圆焊盘一一对应电连接；密封件包覆晶圆并连接于基

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116722838 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310780494.9 (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人北京超材信息科技有限公司地址