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本发明属于抛光液领域，尤其涉及一种抛光硅片的金刚石抛光液，各质量占比为：金刚石粉20％‑25％。其中，金刚石的粒度范围为0.5～54/um；过氧化氢(双氧水)为：5％‑10％；悬浮剂为：2％‑2.5％；丙三醇为：1％‑3％；十二烷基苯磺酸钠为：4％‑6％；陶氏分散剂为：1.5％‑3％；疏水改性聚丙烯酸乳液为：1％‑3％；羧甲基纤维素纳1％‑3％；聚乙二醇7％‑10％；松香为：1％‑3％；消泡剂为：3％‑4％，余量为水，上述各质量比的混合后搅拌均匀，后超声设备中震荡10‑15min，长时间存放基本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116716046 A
(43)申请公布日 2023.09.08
(21)申请号 202310684852.6
(22)申请日 2023.06.09
(71)申请人 深圳市鑫德普科技有限公司
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