一种多孔ZnO薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-09-09 发布于四川
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一种多孔ZnO薄膜的制备方法.pdf

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本发明属于金属半导体薄膜技术领域，公开了一种多孔ZnO薄膜的制备方法，将丙烯酸锌和2‑甲基咪唑加入到丙烯酸中经磁力搅拌并超声震荡后得到混合溶液；再将苯偶酰和光引发剂加入到混合溶液中再次磁力搅拌并超声震荡后均匀形成锌基光固化树脂前驱体；使用旋涂机将锌基光固化树脂前驱体均匀地旋涂到硅片上，使用长波紫外线照射，生成丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜；采用热处理法将丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为多孔ZnO薄膜。该方法制备工艺简单，原材料利用率高，几乎无副反应产物及工业废料，制备的多孔ZnO薄膜厚度均匀可控

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116713170 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310679553.3 B05D 3/00 (2006.01)