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- 2023-09-10 发布于四川
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本发明提供了一种测量盘及偏心值测量方法，属于半导体制造技术领域，测量盘包括：测量盘上设置有刻度线，用于标识至少两个相互垂直的直径方向上的刻度；方法包括：步骤S1，将测量盘放入涂胶显影机台，并按照预设工序向测量盘涂覆光刻胶；步骤S2，根据光刻胶与刻度线的相对位置，得到光刻胶边缘在至少两个相互垂直的直径方向上与测量盘边缘的至少四个距离值；步骤S3，根据距离值，计算得到涂胶显影机台的偏心值；上述技术方案有益效果是：可以直接根据测量盘上的刻度来读取光刻胶在测量盘上的偏心值，不仅方便快捷而且测量精度高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111123653 A
(43)申请公布日
2020.05.08
(21)申请号 20191
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