1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种集成电路加工用的真空蒸发设备.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约6.4千字
  • 约 6页
  • 2023-09-12 发布于四川
  • 举报

一种集成电路加工用的真空蒸发设备.pdf

    本实用新型公开了一种集成电路加工用的真空蒸发设备，包括腔室底座，所述腔室底座上表面设置有蒸发腔室，所述蒸发腔室一侧四角设置有滑动杆，所述滑动杆另一端连接有固定板，所述滑动杆末端设置有螺母，所述蒸发腔室一侧中间位置开设有腔室开孔，所述滑动杆外表面套设有移动板，所述移动板底端一侧套设有螺纹滑动杆，且移动板另一侧设置有蒸发源，所述螺纹滑动杆的一端设置有转动齿轮。通过设置用于驱动蒸发源进出蒸发腔室的电机组件，使蒸发源可以从移动板一端进出蒸发腔室，便于蒸发源的使用和维护，而且电机组件的增设，减少了人力支出

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394500 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >