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- 2023-09-13 发布于四川
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本实用新型公开了一种离子传输接口装置,包括:壳体、分离锥、离子通道、导电板及绝缘板;壳体,用于给带电离子的传输提供真空的腔体环境;分离锥,用于引导带电离子进入离子通道;导电板安装于绝缘板上;导电板的离子传输孔与绝缘板的离子传输孔在同一条水平线上,分离锥的方向朝向离子传输孔;导电板与分离锥之间的电势差沿导电板至分离锥的方向的逐渐递减,带电离子通过离子传输孔根据电势差的梯度依次穿过导电板、绝缘板、分离锥,并进入离子通道。本实用新型要解决的技术问题是,在防止未带电的粒子及其它杂质进入离子传输孔的同时,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210403657 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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