轻元素检测装置及检测方法.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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轻元素检测装置及检测方法.pdf

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本发明公开了一种轻元素检测装置及检测方法，用于对薄膜样品的轻元素进行检测，包括分析室、X射线发生机构、探测机构、第一气源和第二气源；分析室包括第一腔体和第二腔体，之间设置开口；开口处设置检测位，用于放置待探测的样品；X射线发生机构用于提供X射线照射至样品的表面以激发样品产生X射线荧光；探测机构用于探测X射线荧光；第一气源用于向第一腔体提供氦气；第二气源用于向第二腔体提供预设气体，预设气体用于吸收穿透样品的X射线，或用于吸收穿透样品的X射线以及激发第二腔体材料产生的X射线荧光进而降低对样品检测的干

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116735639 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310531477.1 (22)申请日 2023.05.12 (71)申请人力合科技（湖南）股份有限公司地址