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光固态图像传感器光敏元件阵列电荷转移器件:CCDCCD图像传感器一、CCD的结构和基本原理MOS电容器件 + 输入输出端 = CCD S极加负电位,P型衬底接地耗尽区:电极加正偏压,排斥空穴,无空穴的区域 偏压越大,耗尽区越深电荷包:少数载流子(电子)吸引到最高正偏压电极下势阱:加偏压后在金属电极下形成的深耗尽层, 阱内存储少子电荷(少子)注入方法:光注入、电注入、热注入电荷(少子)定向转移—— 三相控制方式经过一个时钟脉冲周期,电荷从前一级的一个电极下,转移到下一级的同号电极下。—— 电荷定向转移(1)单行结构二、线阵CCD图像传感器光积分:光照感光单元、光生电子-空穴对(光电子) 积累光电荷:与光照强度、光积分时间成正比电荷转移:转移栅高电位 —— 电子通道 梳状电极高→低,CCD电极高电位——流向定向输出:转移栅高→低,梳状电极低→高 CCD加时钟脉冲,串行输出—— 重复进行,相继的行输出,读出电荷图形尺寸检测(2)双行结构驱动电路处理、显示—— 透镜焦距 —— 光学放大倍数 —— CCD 像素间距 —— CCD 像素数 三、线性CCD图像传感器的应用—— 上端受光照的像素数 ——上端受光照的像素数 —— 视场范围 (1)测量小尺寸物体(2)测量大尺寸物体CCD1:CCD2:四、面阵CCD图像传感器—— 在 x、y 两个方向上都能实现电子自扫描组成:感光区、信号存储区、输出转移部分
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