集成电路设计—CMOS集成电路制造技术.pptVIP

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  • 2023-09-15 发布于湖南
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集成电路设计—CMOS集成电路制造技术.ppt

* 表达形式 Input Output Input Output VDD VSS (GND) * 2-4 集成电路制造工艺 热氧化工艺 ? SiO2 干法氧化 湿法氧化 扩散工艺 ? P,N 扩散法 离子注入法 淀积工艺—薄膜制造(Metal) 化学气相淀积法 物理淀积法—如:溅射法 光刻工艺? Figure * Wafer 晶圆 Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad Core Pad * Growing the

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