原创力文档- 4
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- 2023-09-13 发布于四川
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本实用新型涉及一种晶圆片翻转贴片机构，包括移动导轨、平移动力件、滑块、顶升动力件、升降座、翻转动力件、翻板及吸盘，所述滑块设置在移动导轨上，所述平移动力件可驱动滑块沿平移导轨移动，所述顶升动力件设置在滑块上，顶升动力件可驱动升降座升降，所述翻板设置在升降座上并与翻转动力件连接，翻转动力件可驱动翻板绕升降座翻转，所述吸盘固定在翻板上。该晶圆片翻转贴片机构能够实现晶圆片的翻转，并将晶圆片贴合在陶瓷盘上，其贴片效率较高，贴片均匀度高、牢固性好，并可防止晶圆片被压坏，从而保证了产品的一致性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210392738 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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