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本发明提供一种编码器芯片偏位响应测试系统，包括：测试机台，测试机台包括固定工装和偏位发生装置，固定工装上设置有测试电机、测试光源和码盘；码盘与测试电机的旋转轴连接；码盘上设置有透光孔；偏位发生装置上设置有编码器芯片，偏位发生装置包括水平位移台、俯仰位移台和旋转位移台；测试光源的光线穿过透光孔时照射到编码器芯片；测试电路，测试电路包括供电电源和示波器；示波器连接编码器芯片显示响应波形；偏位检测设备，用于检测编码器芯片的偏位数值，包括检测水平位移的双路干涉仪、检测旋转位移的光流传感器和检测俯仰位移的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116734908 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310696943.1
(22)申请日 2023.06.13
(71)申请人 传周半导体科技 （上海）有限公司
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