一种压阻式角度传感器的制备方法及应用.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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一种压阻式角度传感器的制备方法及应用.pdf

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本发明公开了一种压阻式角度传感器的制备方法及应用：包括如下步骤：对硅片表面进行热氧处理，使硅片表面生长氧化层；根据产品结构，对硅片中所需形成压阻条的区域进行光刻加氧化层体刻蚀，刻蚀至硅基底；对硅片进行离子注入，使未被氧化硅保护的区域形成具有压阻效应的压阻条；去除氧化硅薄膜，快速退火；在硅片进行金属化镀膜；对金属薄膜进行光刻加刻蚀，形成金属引线；金属引线将具有相同阻值的压阻条连接，形成惠斯通电桥，得到成品。其应用是将所述压阻式角度传感器安装于车载激光雷达微镜中，用于读取微镜的角度变化。本发明制备的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116730283 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310947414.4 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人上海科恒特科技有限公司地址 2