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本实用新型提出一种分体布局式LED芯片检测分选机,包括机架、晶圆工作台、BIN工作台、检测分拣工作台、料盒组以及装载组件。晶圆工作台安装在机架左端,具有上下延伸的第一持物夹。BIN工作台安装在机架右端,具有与第一持物夹间隔设置的第二持物夹。检测分拣工作台安装在机架并间隔安装在第一持物夹和第二持物夹之间,检测分拣工作台包括旋转取物器以及自动光学检测设备,旋转取物器以前后方向为轴转动,旋转取物器用以将晶圆运输到BIN承载盘上,自动光学检测设备用对第一持物盘上的晶粒和/或第二持物盘上的BIN承载盘拍照
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219677236 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320673381.4 B07C 5/342 (2006.01)
(22)申请日 2023.03.
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