Ti及TiMo薄膜中氦的热处理研究的中期报告.docxVIP

Ti及TiMo薄膜中氦的热处理研究的中期报告 本研究旨在探究氦注入对Ti及TiMo薄膜结构与性能的影响，中期研究已取得以下进展： 1. 成功制备了厚度约50nm的Ti及TiMo薄膜。 2. 采用氦离子注入技术，在薄膜表面注入30keV氦离子，氦注量为1e16/cm2、5e16/cm2、1e17/cm2、5e17/cm2。 3. 对氦注入前后的薄膜进行了结构表征，使用X射线衍射、扫描电镜以及拉曼光谱等手段发现，氦注入后Ti薄膜多晶程度提高，晶粒大小明显增大；TiMo薄膜氦注量为1e16/cm2时，晶粒大小增加，注量继续增加时晶粒细化。 4. 对氦注入前后的薄膜进行了力学性能测试，结果显示氦注入后Ti薄膜的硬度、弹性模量和屈服强度均提高了；TiMo薄膜在注量为1e16/cm2时硬度增加，后续注入导致硬度下降。 5. 进行了热处理实验，使用差示扫描量热仪和X射线衍射仪研究了氦注入后的Ti及TiMo薄膜热稳定性，结果显示Ti薄膜注量为1e16/cm2时在500℃下热稳定性最佳，随注量的增加稳定性下降；TiMo薄膜在注量为1e16/cm2时热稳定性下降，注量继续增加后热稳定性转为提高。 综上，本研究初步阐明了氦注入对Ti及TiMo薄膜结构和性能的影响，但还需进一步研究探究氦注入机制。