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靶材制作装置.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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靶材制作装置.pdf

    本申请提供一种靶材制作装置，包括熔炼室和设置在所述熔炼室一侧的雾化室，所述熔炼室设有导流管，所述导流管一端由熔炼室通入熔融的靶材原料，所述导流管另一端延伸到雾化室内，所述雾化室内固设有靶材固定件，所述导流管朝向所述靶材固定件方向，所述导流管外侧套设有雾化喷盘，所述雾化喷盘与外界惰性气体气源连通。本申请中，采用雾化喷盘与导流管配合构成二流体结构将靶材熔液雾化，成型的金属颗粒被高速气流加速后撞击靶材衬底并沉积在上面，形成靶材，生产效率高，生产工序少，靶材原料利用率高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210420135 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192

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